购入时间：2013.02.18        

功能简介：用于纳米级单层及多层功能膜、硬质膜、金属膜、半导体膜、介质膜等新型薄膜材料的制备。可广泛应用于大专院校、科研院所的薄膜材料科研与小批量制备。        

所属部门：物理学院        

存放地点：理贤楼125室        

设备管理人：王绩伟、梅勇        

联系电话：62202306