购入时间：2013.02.18        

功能简介：主要用于集成电路、半导体元器件、光电子器件、光学器件研制和生产。由于本机找平机构先进，找平力小，使本机不仅适合硅片、玻璃片、陶瓷片的曝光，而且也适合易碎片如砷化钾、磷化锢等基片的曝光。        

所属部门：物理学院        

存放地点：理贤楼124室        

设备管理人：王绩伟、梅勇        

联系电话：62202306